6月29-7月1日中科九微将亮相于上海新国际博览中心举办的“SEMICON China 2023 -上海国际半导体展览会”，诚邀各位莅临参观交流！

时间：2023年6月29日-7月1日

地点：上海新国际博览中心E4馆 

展位号：E4443

      中科九微科技有限公司（总部位于北京亦庄经济开发区）是一家专注于真空领域的高科技公司，产品包括真空泵、真空阀门、真空腔体、真空测量及真空部件等，广泛应用于半导体、光伏太阳能、生物医药、科研院所等领域。

 SEMICON China 2023 中科九微主要展品：

• 磁悬浮分子泵

1. 适应任意角度安装的磁轴承控制技术、残余不平衡力控制技术

2. 无位置传感器高速高效永磁同步电机FOC矢量控制技术

3. 高灵敏度、高线性度及高稳定性电涡流式位移传感器和电感式位移传感器设计及检测技术 

• 智能调压真空阀门

1. 特殊的表面处理工艺特殊表面处理，阀门更加耐腐蚀、耐磨损

2. 自带加热功能模块设计，一体化控制器体积更小

3. 智能化调压相应速度更快、以及调压精度更高

• 低粒子高真空阀门

1. 获得国家02专项支持，突破技术难题

2. 真空腔室内无摩擦面和零部件的独特结构设计，极大降低了颗粒的产生

3. 体积小重量轻，特殊胶圈硫化工艺，保障胶圈与阀板的结合力和使用寿命

• 半导体芯片加工室

1. 整体多轴精密加工、精密抛光、超洁净清洗

2. 适用严苛的半导体制程环境温度-100℃ 到500 ℃ ，真空漏率1x10-12mbar L/s，He

3. 满足半导体晶体生长、扩散、薄膜沉积、清洗、刻蚀、离子注入等定制化需要

欢迎莅临上海半导体展SEMICON China 2023 中科九微展台！