首页- 关于我们- 发展历程
发展历程
2002年
创立于中国北京中关村
2005年
成功研制出中国第一台涡旋干泵
2009年
成功研制出中国早期MOCVD设备
2010年
研制无损真空焊接设备流水线并获发明专利
2015年
真空薄膜规、磁悬浮分子泵、调压摆阀(国家02专项)
2016年
成功研制72000RPM永磁轴承小型高分子泵
2019年
研制低粒子传输阀(国家卡脖子产品)
2022年
研制渐变式螺杆真空泵(国家卡脖子产品)
2023年
北京亦庄研发总部建成并投入使用
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