各类分析仪器是医疗卫生、食品健康、科学研究、新能源、新材料等行业的重要工具,而很多的分析仪器都需要相应的洁净真空环境条件,才能对特定的分析对象进行表面特性、物理特性、理化指标、元素构成、分子结构和密封性等方面的分析。比如常见的氦质谱检漏仪(HLD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、比表面分析仪、各类质谱分析类仪器(ICP-MS、GC-MS、LC-MS、GD-MS等)以及一些光谱和能谱类分析仪器等。